磁芯
磁性材料
发布时间：
2023-07-27
螺线管微电感的磁芯材料
磁芯材料的选择对提高磁芯螺线管微电感的性能很关键。主要从三个方面来考虑：
(1)高磁饱和强度保证器件具有高的饱和电流；
(2)高磁导率可以获得大电感量；
(3)高电阻率可以降低涡流损耗。
另外，磁性薄膜电感器件要求具有封闭的磁路结构，以减少漏磁，同时也减少对同一衬底上其它集成器件的影响。
目前在磁性薄膜微电感器件中所使用的磁性材料主要有以下几种：坡莫合金、铁氧体、非晶合金及纳米晶软磁材料。1988年，Yoshizawal71等人研究发现的牌号为Finement的FcCuNbSiB纳米晶材料性能非常优异：加高达105，电阻率为130。200x10-6 Q·cm，大于1．3 T，小于1 A／m，结合了Fe基和Co基非晶合金两者的优点。Shin等人研制了由双矩形纳米晶FeTaN薄膜构成的微电感，Ryu等人使用纳米晶FeZrCN薄膜制成螺旋微电感，都获得了良好的性能，也证实了纳米晶材料的优越性。
笔者所用的磁芯材料是厚度为20 pan的FeCuNbSiB非晶软磁薄带经退火处理得到。薄带在不同退火温度下的XRD谱。250℃退火后，材料仍为非晶结构；300—550℃下退火，由非晶晶化得到纳米晶结构。对比不同退火温度下材料的／a，性能，笔者选用500℃退火处理得到的纳米晶带材作为磁芯材料。
磁芯加工厂家
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